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        NS系列薄膜臺階測量儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
中圖儀器臺階儀廠家NS系列通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準(zhǔn)測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
中圖儀器臺階測量儀線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
中圖儀器國產(chǎn)臺階高度測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準(zhǔn)測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
NS系列磁吸式測針臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準(zhǔn)測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
NS系列臺階高微觀形貌參數(shù)測量儀線性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度,可以準(zhǔn)確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。
 聯(lián)系人:羅健
聯(lián)系人:羅健 地址:深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號南山智園
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