中圖儀器VT6000系列微納材料共聚焦顯微鏡在半導(dǎo)體、3C電子、航空航天等超精密加工領(lǐng)域，3D+2D全維測量各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，一臺設(shè)備滿足多維度檢測需求。

一、核心價值

1.精度碾壓行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

高度測量精度≤(0.2+L/100)μm，重復(fù)性≤12nm；寬度測量精度±2%，重復(fù)性≤40nm，數(shù)據(jù)可追溯，大幅降低返工率。

2.效率倍增降本

一鍵批量分析+自動拼接功能，大區(qū)域檢測無需拆分，對比傳統(tǒng)設(shè)備效率提升30%以上，減少人力投入。

3.全場景適配

覆蓋納米到微米級測量，兼容光滑/粗糙、低/高反射率材質(zhì)，支持ISO/ASME/EUR/GBT四大標(biāo)準(zhǔn)300余種2D/3D參數(shù)檢測。

4.穩(wěn)定耐用更省心

雙重防撞保護(hù)+光源智能節(jié)能設(shè)計，鏡頭碰撞自動急停，光源無人值守自動熄滅，設(shè)備使用壽命延長20%。

二、核心功能

1.3D+2D全維測量

同步實(shí)現(xiàn)微觀3D形貌表征與長度、角度、半徑等二維尺寸測量，一臺設(shè)備滿足多維度檢測需求。

2.大行程靈活適配

VT6100（100×100mm）、VT6200（200×200mm）、VT6300（300×300mm）三款型號，覆蓋不同尺寸工件，其中VT6300搭載12英寸真空吸盤，適配超大工件穩(wěn)定測量。

3.智能化高效處理

調(diào)整、糾正、濾波、提取四大數(shù)據(jù)模塊+五大分析工具，支持自定義模板，批量文件快速分析，數(shù)據(jù)自動生成統(tǒng)計圖表。

4.便捷安全操作

X/Y/Z三軸集成操縱桿，速度、光源亮度一鍵調(diào)節(jié)；Z軸機(jī)械電子傳感器+鏡頭彈簧結(jié)構(gòu)，雙重防撞，消除人為操作風(fēng)險。

三、應(yīng)用案例

1.半導(dǎo)體制造：檢測晶圓微觀形貌，粗糙度測量重復(fù)性≤12nm，助力提升芯片封裝良率，已服務(wù)多家頭部半導(dǎo)體企業(yè)。

2.3C電子玻璃屏：通過自動拼接功能實(shí)現(xiàn)200×200mm玻璃屏全域檢測，平面度測量精度達(dá)0.1nm，檢測效率提升40%。

3.汽車零部件：針對精密齒輪、傳感器等部件，完成微觀幾何輪廓與粗糙度檢測，數(shù)據(jù)符合國際標(biāo)準(zhǔn)，保障零部件裝配精度。

4.科研院所：為微納材料、MEMS器件研發(fā)提供精準(zhǔn)測量數(shù)據(jù)，支持結(jié)構(gòu)分析、頻率分析等深度研究需求。

四、型號選擇

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置可能因技術(shù)升級調(diào)整，具體以實(shí)際溝通為準(zhǔn)。

VT6000系列微納材料共聚焦顯微鏡已廣泛應(yīng)用于超精密加工、航空航天、科研院所等領(lǐng)域。如需獲取對應(yīng)行業(yè)的詳細(xì)應(yīng)用案例、型號參數(shù)對比表或?qū)賵髢r，歡迎聯(lián)系中圖儀器。也可直接私信留言，我們將第一時間對接專屬顧問，為你提供一對一解決方案！