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VT6000大傾角超清納米共聚焦測量顯微鏡用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它是基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

SuperViewW白光干涉非接觸式粗糙度測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器VT6000高分辨率共聚焦成像顯微鏡系統(tǒng)基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析。

NS系列接觸式膜層厚度臺階儀采用接觸式測量方式，主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

VT6000共軛共焦顯微鏡測量技術(shù)基于光學共軛共焦原理，以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

VT6000系列3D微觀形貌共聚焦顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結(jié)合精密縱向掃描，3D 建模算法等，對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。對大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場景更具有兼容性。