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SuperViewW系列白光干涉儀三維表面測量系統以白光干涉技術為原理結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

VT6000國產共聚焦3D材料測量顯微鏡以共聚焦技術為原理，在相同物鏡放大的條件下，所展示的圖像形態細節更清晰更微細，橫向分辨率更高，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

NS系列納米級2D臺階高度測量儀采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

CEM3000大樣品倉臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析，臺式掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。

VT6000超高分辨率共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。共聚焦顯微鏡測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

不同于立式電鏡，CEM3000國內高分辨率臺式掃描電鏡無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。