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PLR3000系列多規(guī)格光纖激光尺可根據(jù)用戶(hù)需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量。同時(shí)提供多種干涉探頭配置,用戶(hù)可根據(jù)實(shí)際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無(wú)內(nèi)置干涉鏡組的測(cè)量探頭,滿(mǎn)足用戶(hù)各種復(fù)雜場(chǎng)景應(yīng)用。
PLR3000高分辨率光纖激光尺高分辨率數(shù)字正交信號(hào)輸出,分辨率達(dá)10nm(可外部拓展)。基于激光干涉測(cè)量原理,專(zhuān)為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列高穩(wěn)定光纖激光尺是新一代高精度位置檢測(cè)設(shè)備,基于激光干涉測(cè)量原理,專(zhuān)為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000系列可拓展4m量程光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì),保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。可根據(jù)用戶(hù)需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量。
相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵,PLR3000系列高線性精度光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì),保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。可根據(jù)用戶(hù)需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量。
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